Блок синтеза и ректификации хлорсиланов цеха 94 проектной мощностью 10 тыс. т/год по очищенному трихлорсилану.

Разработаны исходные данные для повышения мощности с 5 до 15 тыс. т в год по трихлорсилану и очистки трихлорсилана от бора до 1 ppb: фосфора 2 ppb и углерода до 2 ppm.

Достигнуто увеличение мощности до 15 тыс. т/год.

Обеспечена требуемая очистка трихлорсилана и тетрахлорида кремния. Впервые в РФ получен солнечный кремний в промышленном масштабе.